ТОМ 52, №3
Приближенная модель осаждения тонких пленок из парогазовой фазы в трубчатой диффузионной печи
Автор: Георгиев Г. И., Карбанов С. Г., Пеев Г. А.
Стр: 405
Георгиев Г. И., Карбанов С. Г., Пеев Г. А..
Приближенная модель осаждения тонких пленок из парогазовой фазы в трубчатой диффузионной печи // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 52, №3. С. 405.
Возврат к списку