Лаборатория нанопроцессов и технологий
Подробнее
Основными научными направлениями отделения являются:
- Микро- и наноразмерный теплообмен, контактные задачи микромеханики, моделирование микро- и наносистем, физико-химических процессов в наноструктурированных системах и метаматериалах, МЭМС
- Синтез и модифицирование микро- и наноразмерных материалов и композитов, в том числе углеродных наноструктур, фуллеренов, углеродных нанотрубок
- Исследование и анализ структуры и свойств наноструктурных материалов, МЭМС, композитов и биологических объектов методами оптической, электронной, атомно-силовой микроскопии, наноиндентирования, ИК- и КР-спектроскопии, термометрии и ИК-термографии
- Разработка оборудования и технологий микроанализа и нанодиагностики материалов с высоким пространственным разрешением; создание сенсоров и сенсорных систем; метрология и стандартизация измерений в области нанотехнологий
- Разработка и внедрение технологий магнитореологического полирования и формообразования прецизионных изделий микроэлектроники, оптики и лазерной техники
- Разработка и производство оборудования для магнитореологического полирования и тонкой коррекции формы изделий в автоматизированном режиме