ТОМ 60,   №5

Температурные поля в пленочных микроэлектронных структурах при лучистом нагреве


 

Автор:  Борисенко В. Е., Юдин С. Г.
Стр:  794

Борисенко В. Е., Юдин С. Г..  Температурные поля в пленочных микроэлектронных структурах при лучистом нагреве // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 60, №5. С. 794.


Возврат к списку