ТОМ 60, №5
Температурные поля в пленочных микроэлектронных структурах при лучистом нагреве
Автор: Борисенко В. Е., Юдин С. Г.
Стр: 794
Борисенко В. Е., Юдин С. Г..
Температурные поля в пленочных микроэлектронных структурах при лучистом нагреве // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 60, №5. С. 794.
Возврат к списку