ТОМ 60, №3
Сравнительный анализ импульсного ионного и лазерного отжига кремния
Автор: Бумай Ю. А., Домород Н. Е., Ульяшин А. Г.
Стр: 494
Бумай Ю. А., Домород Н. Е., Ульяшин А. Г..
Сравнительный анализ импульсного ионного и лазерного отжига кремния // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 60, №3. С. 494.
Возврат к списку