ТОМ 60, №1
Оптимизация конструкции реакционной камеры по распределению температуры в полупроводниковой пластине при нагреве некогерентным излучением
Автор: Сеченов Д. А., Светличный А. М., Клово А. Г., Соловьев С. И., Зиновенко С. И
Стр: 130
Сеченов Д. А., Светличный А. М., Клово А. Г., Соловьев С. И., Зиновенко С. И.
Оптимизация конструкции реакционной камеры по распределению температуры в полупроводниковой пластине при нагреве некогерентным излучением // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 60, №1. С. 130.
Возврат к списку