ТОМ 68, №6
Влияние морфологии слоев газофазного нитрида алюминия на термическое сопротивление цилиндрических пакетов Мо-АlN-Мо
Автор: Кобяков В. П.
Стр: 918-923
Кобяков В. П. .
Влияние морфологии слоев газофазного нитрида алюминия на термическое сопротивление цилиндрических пакетов Мо-АlN-Мо // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 68, №6. С. 918-923.
Возврат к списку