ТОМ 68, №1
Моделирование диффузии магния в арсениде галлия. 2. Перераспределение ионно-имплантированной примеси
Автор: В. А. Лабунов , О. И. Величко , С. К. Федорук
Стр: 39-43
В. А. Лабунов , О. И. Величко , С. К. Федорук .
Моделирование диффузии магния в арсениде галлия. 2. Перераспределение ионно-имплантированной примеси // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 68, №1. С. 39-43.
Возврат к списку