3D-моделирование термического отжига ионно-имплантированных примесей

Трехмерное (3D) математическое моделирование технологических операций наиболее реально отражает физические процессы, происходящие при формировании структурных элементов сверхбольших интегральных схем (СБИС). Однако многомерное моделирование технологии изготовления СБИС требует применения экономичных алгоритмов численного решения исходной математической задачи. Предлагается эффективная методика численного расчета 3D-профиля распределения легирующих примесей, формирующегося в результате процесса термического отжига после имплантации. Рассмотрена задача моделирования диффузионного перераспределения примеси при отжиге в активной среде. Обсуждаются некоторые результаты расчетов
Автор:  М. В. Казитов , В. В. Нелаев , Е. Ф. Ноготов
Стр:  1075-1080