МИКРОСТРУКТУРА ТОНКИХ ПЛЕНОК ТАНТАЛА И ЕГО СОЕДИНЕНИЙ

Методом атомно-силовой микроскопии изучена микроструктура покрытий тантала и его соединений, сформированных на поверхности подложек из нержавеющей стали и предметного стекла методом реактивного магнетронного распыления. Установлено, что для наноструктурированных пленок тантала характерна ячеистая структура, размер ячеек которой зависит от материала и физико-химических свойств поверхности подложки.  
Автор:  Петровская А. С., Лапицкая В. А., Мельникова Г. Б., Кузнецова Т. А., Чижик С. А., Зыкова А. В., Сафонов В. И.
Ключевые слова:  пленки тантала, магнетронное распыление, атомно-силовая микроскопия, микроструктура, шероховатость
Стр:  967-972