ТOM 71, №2
Нелинейная модель распределения имплантируемых ионов при больших дозах
Получена нелинейная модель распределения имплантированных ионов при больших дозах с учетом распыления, объемного роста мишени и торможения на внедренных атомах.
Автор: А. Л. Данилюк
Стр: 277-281
А. Л. Данилюк.
Нелинейная модель распределения имплантируемых ионов при больших дозах // Инженерно-физический журнал.
1998. ТOM 71, №2. С. 277-281.
Возврат к списку