Кинетика физического и химического осаждения вещества из газовой фазы в каналах

На основании молекулярно-кинетического подхода исследуются процессы физического и химического осаждения вещества из газовой фазы на внутренней поверхности канала. Обсуждается проблема нанесения равномерных по толщине пленок.
Автор:  В. В. Левданский, И. Смолик
Стр:  142-145