Управление свойствами тонкопленочных систем с применением импульсной фотонной обработки

Разработан принципиально новый технологический процесс изготовления сверхбольших интегральных схем, не имеющий аналогов и основанный на применении быстрых термообработок для создания геттерирующих слоев, окисления кремния, отжига ионно-легированных слоев, оплавления фосфоро- и борофосфоросиликатных стекол, формирования силицидов и повышения термостабильности алюминиевой металлизации.
Автор:  В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. Горушко
Стр:  95-98