Высокотемпературное осаждение пленок углерода

В приближении задачи Стефана построена математическая модель роста углеродной пленки при высокотемпературном осаждении. Проанализировано влияние различных факторов на максимально возможную толщину пленки. Показано, что пористость пленки является принципиально важным фактором, который через величину эффективной теплопроводности определяет динамику ее роста.
Автор:  С. П. Фисенко, Б. Н. Базылев, Г. Вюрц
Стр:  3-6