ИССЛЕДОВАНИЕ ПАРАМЕТРОВ ПУЧКА ИОНОВ, ФОРМИРУЕМОГО В СКРЕЩЕННЫХ ЭЛЕКТРИЧЕСКОМ И МАГНИТНОМ ПОЛЯХ

Приведены данные экспериментальных исследований характеристик пучка положительных ионов, сформированного в ионно-плазменной системе с генерацией разряда в скрещенных электрическом и магнитном полях. Описаны условия формирования разряда и особенности разработанной конфигурации разрядного устройства. Показано, что такие разрядные системы способны формировать широкие пучки низкоэнергетичных ионов и могут быть с успехом применены в различных областях тонкопленочной технологии.
Автор:  Д. А. Котов, А. П. Достанко
Стр:  193