СТРУКТУРА УГЛЕРОДНЫХ ПЛЕНОК, ОСАЖДЕННЫХ ИЗ ГАЗОВОГО РАЗРЯДА ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ

Углеродные пленки формировались на анодных (Ni, Cu) подложках из слаботокового (10-100 мА) газового разряда в смеси He/CH4 при атмосферном давлении. При осаждении на подложки без подогрева образуются аморфные пленки с субмикронной фрактальной структурой поверхности. Пленки, выращенные на подогреваемой (~1000oС) подложке, имеют слоистую графитированную структуру.
Автор:  Шушков С. В., Крылов И. С., Гусакова С. В., Силенков М. А., Жданок С. А.
Ключевые слова:  газовый разряд, плазменное осаждение, углеродные пленки, графеновые структуры.
Стр:  1318