ФИЗИЧЕСКИЕ ПРОЦЕССЫ ПРИ ОБРАБОТКЕ ПОДЛОЖКИ И НАНЕСЕНИИ НА НЕЕ НАНОПОКРЫТИЙ ЛАЗЕРНО-ПЛАЗМЕННЫМ МЕТОДОМ

С целью упрощения автоматизации процесса напыления нанопокрытий лазерно-плазменным методом в вакууме предложено получать поток ионов из лазерной плазмы и плавно регулировать энергию ионов и плотность их потока с помощью потенциала электрического поля. При обработке поверхности подложки потоками ионов определены режимы ее травления, создания псевдодифузионного слоя материала мишени в приповерхностной зоне подложки и нанесения на нее материала лазерной мишени.
  Автор:  В. К. Гончаров, А. А. Пехота, М. В. Пузырев
Ключевые слова:  лазерная плазма, потоки ионов, нанопокрытия
Стр:  520