ТОМ 78, №3
МОДЕЛЬ ЛАЗЕРНОГО ГЕТТЕРИРОВАНИЯ БЫСТРОДИФФУНДИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ
Предложена модель геттерирования быстродиффундирующих примесей в кремниевых пластинах, позволяющая определить эффективные режимы его проведения, обеспечивающие получение высококачественных кремниевых пластин с воспроизводимыми характеристиками для применения их в технологии создания сверхбольших интегральных схем.
Автор: В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. Горушко
Стр: 190
В. А. Пилипенко, В. Н. Пономарь, В. А. Горушко.
МОДЕЛЬ ЛАЗЕРНОГО ГЕТТЕРИРОВАНИЯ БЫСТРОДИФФУНДИРУЮЩИХ ПРИМЕСЕЙ // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 78, №3. С. 190.
Возврат к списку