ТЕОРЕТИЧЕСКИЙ АНАЛИЗ И МОДЕЛИРОВАНИЕ ПОЛУЧЕНИЯ ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО КРЕМНИЯ В РЕАКТОРЕ КИПЯЩЕГО СЛОЯ

Выполнен теоретический анализ и рассмотрены основные проблемы технологии получения поликристаллического кремния пиролитическим разложением моносилана в реакторе кипящего слоя. Представлены одномерная двухфазная модель данного процесса и основные результаты математического моделирования.
Автор:  Бородуля В. А., Виноградов Л. М., Рабинович О. С., Акулич А. В.
Стр:  48