ИСПОЛЬЗОВАНИЕ СТОЯЧИХ ПОВЕРХНОСТНЫХ ВОЛН И СТАЦИОНАРНОГО МАГНИТНОГО ПОЛЯ ПРИ ВЫРАЩИВАНИИ КРИСТАЛЛОВ МЕТОДОМ ПЛАВАЮЩЕЙ ЗОНЫ В НЕВЕСОМОСТИ

Проведено численное исследование течения и тепломассопереноса при выращивании кристаллов методом плавающей зоны в условиях невесомости с использованием стоячих поверхностных волн, создаваемых приложенной вибрацией, и стационарного осевого магнитного поля. На примере кристаллизации кремния показано, как при выборе оптимальных параметров стоячих поверхностных волн и магнитного поля можно значительно (в несколько раз) снизить микро- и макросегрегацию легирующей примеси фосфора и вырастить кристалл с однородностью, превосходящей лучшие образцы, получаемые на земле методом Чохральского.
Автор:  А. И. Феонычев
Стр:  116