МОДЕЛИРОВАНИЕ ДИФФУЗИОННОГО МАССОПЕРЕНОСА ИМПЛАНТИРОВАННЫХ ПРИМЕСЕЙ В КРЕМНИИ. I. ФОРМУЛИРОВКА МОДЕЛИ

Разработана обобщенная модель диффузионного массопереноса имплантированных атомов примеси (доноров и акцепторов) в кристаллическом кремнии, учитывающая все возможные зарядовые состояния диффундирующих частиц (вакансий, межузельных атомов Si и пар атом примеси-вакансия и атом примеси-межузельный атом кремния) и различие коэффициентов диффузии пар, имеющих разные электрические заряды. Получены выражения для источниковых/стоковых членов, описывающие все парные реакции взаимодействия частиц (генерацию и аннигиляцию) в процессе диффузии с учетом их зарядов.
Автор:  Б. Б. Хина
Стр:  3