ПРИБОРНО-ТЕХНОЛОГИЧЕСКОЕ МОДЕЛИРОВАНИЕ И ИССЛЕДОВАНИЕ ЭКСПЕРИМЕНТАЛЬНЫХ ОБРАЗЦОВ КРЕМНИЕВОГО СТАБИЛИТРОНА

Предложена технология изготовления кремниевого стабилитрона с напряжением стабилизации 6.5 В. Определены удельное сопротивление подложки и режим диффузии фосфора в подложку, обеспечивающие требуемые значения напряжения стабилизации в условиях комнатной температуры и при двух граничных температурах –55 и 150 ^оС. Проведено сравнение данных моделирования с результатами эксперимента
Автор:  Н. Л. Дудар, В. М. Борздов, А. С. Турцевич
Ключевые слова:  стабилитрон, напряжение стабилизации, приборно-технологическое моделирование, тех - нологический маршрут, диффузионное легирование
Стр:  961