СУПЕРФИНИШНАЯ ПОЛИРОВКА АЛМАЗНЫХ ПОДЛОЖЕК ДЛЯ ЭПИТАКСИАЛЬНОЙ ТЕХНОЛОГИИ

Проведена оптимизация режимов суперфинишной виброполировки монокристаллических синтетических алмазных подложек. Установлено, что после их полировки в течение 100 ч шероховатость поверхности составила 0.43 нм. Предложена и обоснована методика контроля структурного совершенства приповерхностного слоя алмазных подложек после их шлифовки и полировки. Рентгенодифракционные исследования показывают возможность использования данной методики при отборе годных подложек для технологии эпитаксиального роста алмазных пленок в микро- и наноэлектронике.
Автор:  Г. В. Шаронов, С. А. Петров
Ключевые слова:  монокристаллическая синтетическая алмазная подложка, шлифовка, суперфинишная вибрационная полировка, эпитаксиальная технология, шероховатость и совершенство кристаллической структуры, угол дифракции рентгеновских лучей, полуширина и асимметрия кривой отражения рентгеновских лучей.
Стр:  1100