СКВОЗНАЯ МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ СТРУЙНОГО ВЫСОКОЧАСТОТНОГО ИНДУКЦИОННОГО РАЗРЯДА ПОНИЖЕННОГО ДАВЛЕНИЯ

Предложена самосогласованная сквозная модель струйного высокочастотного индукционного разряда пониженного давления (13.3–133 Па) в невозмущенном потоке газа и в присутствии твердого тела. Модель состоит из трех взаимосвязанных подмоделей, описывающих части такого разряда, участвующие в его взаимодействии с обрабатываемым материалом (плазменную струю, слой положительного заряда в окрестности материала и двойной электрический слой непосредственно у его поверхности). Особенностью указанного разряда является то, что течение его плазмы реализуется в режиме перехода от течения сплошной среды к свободномолекулярному потоку, в то время как течение заряженных частиц удовлетворяет гипотезе сплошности. Поэтому для описания газодинамических параметров плазменной струи используется кинетическое уравнение Больцмана, течение заряженных частиц в струе и слой положительного заряда рассматриваются в гидродинамическом приближении и для описания двойного слоя у поверхности образца используется модель бесстолкновительного свободномолекулярного потока.
  Автор:  И. Ш. Абдуллин, В. С. Желтухин, А. Ю. Шемахин
Ключевые слова:  высокочастотный индукционный разряд, струйное течение, слой положительного заряда, двойной электрический слой, математическая модель, переходный режим течения
Стр:  491