ВЛИЯНИЕ ЗАРЯЖЕННЫХ КЛАСТЕРОВ НА ДИФФУЗИЮ АТОМОВ ПРИМЕСИ В КРИСТАЛЛАХ КРЕМНИЯ

Получено уравнение диффузии примесных атомов в кристаллах кремния, на основе которого может быть определено влияние заряженных кластеров в кристалле кремния на процесс переноса примеси. Показано, что характерной особенностью этого влияния является возникновение дополнительного потока примесных атомов, который может привести к сегрегации примеси.
  Автор:  О. И. Величко
Ключевые слова:  диффузия, сегрегация, кластер, примесь, кремний
Стр:  763