ВЛИЯНИЕ ПРОТОННОГО ОБЛУЧЕНИЯ НА СТРУКТУРНО-ФАЗОВОЕ СОСТОЯНИЕ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫХ ПОКРЫТИЙ TiZrSiN И ИХ МЕХАНИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА

Методом реактивного магнетронного распыления сформированы наноструктурированные покрытия TiZrSiN на различных типах подложек в режимах с недостатком и стехиометрической концентрацией азота. Методами сканирующей электронной микроскопии и рентгеноструктурного фазового анализа определено структурно-фазовое состояние исходных покрытий, их толщины, а также морфология. С использованием наноиндентирования по методике Оливера и Фарра, а также трибомеханических испытаний определены твердость, модуль Юнга и коэффициент трения покрытий. Проведено облучение исследуемых покрытий TiZrSiN ионами водорода H⁺ с энергией 500 кэВ в диапазоне флюенсов от 1 ⋅ 10¹⁶ до 1 ⋅ 10¹⁷ ион/см² на ускорительном комплексе AN 2500. Установлено, что наноструктурированные покрытия TiZrSiN, нанесенные в режимах недостатка и стехиометрии азота, являются радиационно-стойкими и потенциально перспективными для эксплуатации как защитных на корпусах малых летательных аппаратов на орбите Земли и в условиях открытого космоса
  Автор:  Комаров Ф. Ф., Константинов С. В., Зайков В. А., Пилько В. В.
Ключевые слова:  наноструктурированные покрытия TiZrSiN, структурно-фазовое состояние, трибомеханические свойства, наноиндентирование, радиационная стойкость
Стр:  1645