ТОМ 22, №1
Распределение атомов примеси в объеме полупроводника при диффузии в щель в маскирующей пленке
Автор: Ю. Ф. Блинов, Д. А. Сеченов
Стр: 163
Ю. Ф. Блинов, Д. А. Сеченов.
Распределение атомов примеси в объеме полупроводника при диффузии в щель в маскирующей пленке // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 22, №1. С. 163.
Возврат к списку