ТОМ 27, №4
Кинетика роста низкотемпературных окисных пленок на поверхности кремния
Автор: Л. И. Гурский, В. М. Колешко, Б. С. Резников, И. В. Некарюкин, А. А. Ковалевский
Стр: 728
Л. И. Гурский, В. М. Колешко, Б. С. Резников, И. В. Некарюкин, А. А. Ковалевский.
Кинетика роста низкотемпературных окисных пленок на поверхности кремния // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 27, №4. С. 728.
Возврат к списку