ОСАЖДЕНИЕ ФУНКЦИОНАЛЬНЫХ ПОКРЫТИЙ ИЗ АЦЕТИЛЕН-СОДЕРЖАЩЕЙ ПЛАЗМЫ ПРИ АТМОСФЕРНОМ ДАВЛЕНИИ

Исследованы свойства тонких покрытий, сформированных на полимерных и стеклянных подложках путем плазмохимического осаждения из смеси азота с ацетиленом при атмосферном давлении. Установлено, что на поверхности подложек образуются прозрачные химически стойкие пленки с массовым соотношением связанного углерода и азота C:N ~ 2:1. При увеличении времени осаждения наблюдается образование массивов дендритовидных структур.
Автор:  Ф. В. Плевако, С. В. Горбатов, П. А. Давидович, Е. М. Приходько 1 , C. В. Шушков, Л. П. Круль, Г. В. Бутовская, О. В. Шахно, С. В. Гусакова, О. В. Королик, А. В. Мазаник
Ключевые слова:  газовый барьерный высокочастотный разряд, полимеризация в плазме, дицианоацетилен, тонкопленочное покрытие, дендритовидные структуры
Стр:  457