ИСПАРИТЕЛЬНОЕ ОХЛАЖДЕНИЕ ПОДЛОЖКИ ИМПУЛЬСНО-ПЕРИОДИЧЕСКИМ СПРЕЕМ C ФЕМТОЛИТРОВЫМИ КАПЛЯМИ

Измерены диссипационные потоки энергии при испарительном охлаждении подложки каплями, приносимыми воздушном потоком. Показано, что частота подачи спрея и разность между его температурой и температурой подложки влияют на эффективность ее охлаждения. Исследованы импульсы орошения со скважностью 0.5 и 0.25. Обнаружено, что форма этих импульсов практически не влияет на интенсивность охлаждения подложки при частотах подачи спрея выше 3 Гц. Подтверждено, что теплопроводность и толщина подложки существенно влияют на величину потока энергии, рассеянного ею.
  Автор:  В. И. Саверченко, С. П. Фисенко
Ключевые слова:  скважность импульса, теплопроводность подложки, температура подложки, раствор, диссипационный поток
Стр:  1255