ТОМ 43, №3
Расчет температурных полей в кремниевой пластине при оптическом импульсном отжиге
Автор: Стержанов Н. И., Пилипенко В. И., Топчий В. Н., Слободкин Л. С., Пшеничная Г. Н., Вакульчик П. А.
Стр: 463
Стержанов Н. И., Пилипенко В. И., Топчий В. Н., Слободкин Л. С., Пшеничная Г. Н., Вакульчик П. А..
Расчет температурных полей в кремниевой пластине при оптическом импульсном отжиге // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 43, №3. С. 463.
Возврат к списку