ТОМ 48,   №2

Динамика наносекундного лазерного отжига кремния



Автор:  Пилипович В. А. , Малевич В. Л. , Ивлев Г. Д. , Жидков В. В.
Стр:  306

Пилипович В. А. , Малевич В. Л. , Ивлев Г. Д. , Жидков В. В. .  Динамика наносекундного лазерного отжига кремния // Инженерно-физический журнал. . ТОМ 48, №2. С. 306.


Возврат к списку