ТОМ 48, №2
Динамика наносекундного лазерного отжига кремния
Автор: Пилипович В. А. , Малевич В. Л. , Ивлев Г. Д. , Жидков В. В.
Стр: 306
Пилипович В. А. , Малевич В. Л. , Ивлев Г. Д. , Жидков В. В. .
Динамика наносекундного лазерного отжига кремния // Инженерно-физический журнал.
. ТОМ 48, №2. С. 306.
Возврат к списку