Основные направления деятельности
- Проведение научно-исследовательских работ в области процессов формообразования поверхностей путем реализации эффекта массопереноса − унос материала с обработанной поверхности, характеризующийся энергией переноса.
-
Изучение процессов наноизнашивания. Исследование трибологических и механохимических взаимодействий.
-
Поиск, анализ, разработка, изготовление, испытание и внедрение техники и технологий для высокоточной обработки поверхностей деталей оптической, полупроводниковой и других отраслей промышленности.
-
Разработка эффективных конструктивных схем и изготовление оборудования, модулей и сопутствующей оснастки для обработки плоских, выпуклых и вогнутых деталей, включая крупногабаритные изделия и компоненты.
-
Поиск и разработка составов реологических жидкостей для полирования твердых, сверхтвердых, химически нестойких, водорастворимых, наноструктурированных материалов, включая тонкие пленки и покрытия.
-
Создание алгоритмов и средств управления, разработка специального программного обеспечения для реализации процессов формообразования, включая подготовку и использование реологических жидкостей.
-
Проведение контактного и бесконтактного комплексного контроля состояния поверхностей до и после обработки изделий. Использование результатов контроля для определения технологических параметров формообразования и полирования
Экспериментальная база
- Лабораторная установка для полирования
-
Комплекс для формообразования и полирования изделий размером до 420 мм
-
2-х и 3-х координатные модули для обработки изделий до 2,5 метров
-
Интерферометр ИКД-110 3D
-
Профилометр KLA-Tencor MicroXAM-800
Разработки
Технологии и оборудование для высокоточного формообразования и финишного магнитореологического полирования плоских, сферических и асферических поверхностей прецизионных деталей:
- Технологии формообразования и полирования
- Специальные установки для формообразования и полирования
- Модули, расширяющие технологические способности оборудования
- Полировальные составы для финишной обработки поверхностей
- Программное обеспечение
- Комплексная диагностика состояния поверхности
Примеры использования предлагаемых разработок
- Формирование асферической поверхности оптического изделия, имеющего первоначальную сферическую форму
-
Автоматизированная обработка локальных участков поверхности со снятием различного припуска (режим "ретушь")
-
Снятие тончайшего дефектного слоя, образовавшегося при выполнении предшествующих операций, для повышения лучевой прочности оптических элементов лазерных систем (включая изделия из водорастворимых кристаллов)
-
Финишная обработка поверхностей длинномерных труб, калибров, сложных сочленений, прецизионных направляющих, выполненных из немагнитных металлических сплавов
-
Планаризация поверхностей интегральных схем, имеющих сложное морфологическое и топологическое строение, для изготовления компонентов 3D электроники
-
Полирование крупногабаритной оптики, зеркал и сегментов зеркал, изготовленных из церодура, ситалла и карбида кремния
Достоинства
- Габаритные размеры обрабатываемых изделий от 3 мм до 2,5 метров, среднеквадратичная точность формы до λ/100; среднеквадратичная шероховатость поверхности Rq = 0,2-2,5 нм
-
Полная автоматизация технологии обработки позволяет достичь высокого уровня воспроизводимости результатов как для отдельных участков единичного изделия, так и серии деталей
